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特性比较
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液氧方式
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钢瓶供气方式
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氮气纯度
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>99.5%
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99.5%
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运行人员
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不需要
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至少每班2人
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车间仓库
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不需要
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需要
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质量稳定性
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高
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低
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供应可靠性
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高
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低
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工作噪音
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无
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大
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备用设备
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不需要
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需要
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流量可调性
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可调
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不可调
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投资
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山东省半导体研究所
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客户
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维护
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山东省半导体研究所
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客户
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供气保证
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山东省半导体研究所
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客户
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经济比较
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折旧（固定费用）
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<3500元/月
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钢瓶投入
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人工费用
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800×6＝4800元
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检修及配件费用
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液氮费用
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<1800元/吨（150瓶）
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150瓶×20=3000元
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