电子工业用标准气

组分名称及浓度范围	平衡气
H₂ 100ppm ~ 4%	N₂
HCl 5%	He
HCl 5% H₂ 1%	He
HCl 1~5%	N₂
SiH₄ 10ppm ~ 15%	H₂、N₂、Ar、He
PH₃ 10ppm ~ 15%	H₂、N₂、Ar、He
B₂H₆ 10ppm ~ 15%	H₂、N₂、Ar、He
AsH₃ 10ppm ~ 15%	H₂、N₂、Ar、He
HCl 10ppm	N₂、He
包　装：通常采用40升钢瓶（12～15MPa)，也可根据客户需要，分装到0.7～10升的气瓶(10MPa)中。有国家标准物质中心颁发的国家二级标准物质证书。